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六維力傳感器隨著集成技術(shù)、分子合成技術(shù)、微電子技術(shù)及計算機技術(shù)的發(fā)展，出現(xiàn)集成傳感器.集成傳感器包括2種類型:傳感器本身的集成化和傳感器與后續(xù)電路的集成化.例如:電荷藕合器件(CCD)，集成溫度傳感器AD590集成霍爾傳感器UGN3501等.這類傳感器主要具有成本低、可靠性高性能好、接口靈活等特點集成傳感器發(fā)展非常迅速，現(xiàn)已占傳感器市場的2/3左右，它正向著低價格、多功能和系列化方向發(fā)展。
六維力傳感技術(shù)大體可分3代，第1代是結(jié)構(gòu)型傳感器.它利用結(jié)構(gòu)參量變化來感受和轉(zhuǎn)化信號。例如:電阻應變式傳感器，它是利用金屬材料發(fā)生彈性形變時電阻的變化來轉(zhuǎn)化電信號的。第2代傳感器是70年代 開始發(fā)展起來的固體傳感器，這種傳感器由半導體、電介質(zhì)、磁性材料等固體元件構(gòu)成，是利用材料某些特性制成的。80年代智能化測量主要以微處理器為核心，把傳感器信號調(diào)節(jié)電路微計算機、存貯器及接口集成到一塊芯片上，使傳感器具有一定的人工智能.90年代智能化測量技術(shù)有了進一步的提高，在傳感器一級水平實現(xiàn)智能化，使其具有自診斷功能、記憶功能、多參量測量功能以及聯(lián)網(wǎng)通信功能等。
